본 발명은 초음파 원자현미경장치에 관한 것이다.

본 발명에 따른 초음파 원자현미경장치는, 공진 주파수 신호를 입력받아 시료편에 각각 상하 방향으로 초음파 가진을 수행하는 접촉식 캔틸레버와 시료 가진부가 설치된 초음파 원자현미경장치에 있어서, 상기 캔틸레버와 상기 시료 가진부에 상기 공진주파수 신호를 인가하여 상기 캔틸레버와 상기 시료 가진부를 진동시키는 함수발생부와, 상기 캔틸레버와 상기 시료 가진부에 발생되는 진동신호를 획득하여 증폭하는 락-인 증폭부를 포함하는 제어구동부; 상기 캔틸레버의 표면에 정렬된 레이저로부터 조사되어 상기 시료편에 반사된 레이저 광을, 복수 개의 영역으로 분할되어 배치되는 변위센서에 의하여, 감지하여 상기 캔틸레버의 변위정보를 측정하는 캔틸레버 헤드부와, 상기 캔틸레버의 상기 시료편에 대한 접촉력을 유지시키는 캔틸레버 구동부를 포함하는 변위측정부; 및 상기 제어구동부 및 상기 변위측정부의 동작을 제어하고, 상기 락-인 증폭부에 의하여 증폭된 진동신호와 상기 변위측정부에 의하여 감지된 변위정보를 통하여 나노크기의 시료편의 표면 이미지와 표면의 탄성특성 이미지 및 표층부 이미지를 생성할 수 있는 마이컴을 포함할 수 있다.