주파수 혼합기로 동작하는 관통 실리콘 비아, 이를 포함하는 3차원 집적 회로 및 이의 제조 방법
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name 0 Comments 111 Views -1-11-30 00:00 전자~전기본문
- 기술요약
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3차원 집적 회로를 구성하는 적어도 하나의 실리콘 기판을 관통하는 관통 실리콘 비아는 제1 면, 기둥 형상의 본체 및 제2 면을 포함한다. 상기 제1 면은 적어도 하나의 주파수를 가지는 적어도 하나의 전기적 입력 신호를 전달받는다. 상기 기둥 형상의 본체는 상기 전기적 입력 신호의 주파수의 합 또는 차에 상응하는 주파수를 가지는 전기적 신호를 포함하는 전기적 출력 신호를 생성한다. 상기 제2 면은 상기 제1 면과 대향하며, 상기 전기적 출력 신호를 외부에 전달한다.
[주파수 혼합기로 동작하는 관통 실리콘 비아의 구조]