<특허 요약>

본 발명은 화학 증착 공정에 있어서, 캐니스터 내부에 수용된 전구체의 점도를 실시간으로 측정하고 진단하기 위 한 시스템에 관한 것으로, 증착 소재에 대한 전구체 용액이 포함된 캐니스터와, 상기 캐니스터와 연결되어 상기 전구체 용액을 이송하는 이송수단과, 상기 이송수단으로부터 상기 전구체 용액을 일정 양 공급받아 수집하는 용 기와, 상기 용기를 내부에 포함하고, 상기 용기에 수집된 전구체 용액의 점도를 측정하는 점도 측정기가 포함된 점도 진단 챔버를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정용 점도 진단 시스템을 기술적 요지로 한 다. 이에 의해 본 발명은 공정 진행 중에 전구체의 실시간 점도의 측정이 가능하고 이를 진단함으로써 공정의 연 속성이 보장되면서 증착 소재의 물성 항상성을 유지할 수 있어 고품질의 박막 증착이 가능한 이점이 있다.

<기술개요>

화학 증착 공정에 있어서, 캐니스터 내부에 수용된 전구체의 점도를 실시간으로 측정하고 진단을 통해 고품질의 박막 증착이 가능한 시스템 

<기술개발 배경>

-화학 증착 공정에서 전구체 물질의 물성을 관리하고 특성을 유지하는 것이 최종 증착된 박막의 품질을 좌우하는 매우 중요한 요소로 작용함

-일반적으로 전구체를 캐니스터에 담아 공정 장비에 장착하면 전구체의 상태를 관찰할 방법이 없으므로, 장비에 장착된 이후에는 장비를 완전 해체하지 않는 한 전구체의 상태에 대하여 분석이 불가능한 문제가 있음

<기술내용 및 차별성>

-공정 진행 중에 전구체의 실시간 점도의 측정이 가능하고, 이를 진단함으로써 공정의 연속성이 보장되면서 증착 소재의 물성 항상성을 유지할 수 있어 고품질의 박막 증착이 가능

-캐니스터에서 전구체 용액 샘플의 추출시 물성의 변화가 거의 없도록 추출하여, 캐니스터 내부에 수용된 현재 상태의 전구체의 점도 측정이 가능하여 보다 정확한 점도의 측정이 가능

-공정 진행 과정 동안 실시간으로 복수 회의 점도 측정이 가능하도록 샘플링이 가능하여 공정의 안정성을 도모

 

<비즈니스 아이디어>

반도체 공정 및 박막증착을 위한 화학기상증착 공정 활용  

<시장동향>

반도체 증착장비 시장은 2021년 213.2억 달러였던 증착장비 세계시장 규모는 2027년 505.4억 달러로 연평균 성장률은 15.50%로 증가할 것으로 전망 

국내 반도체 식각장비 시장은 2021년 3조 9,818억 원에서 반도체 업황의 반등으로 연평균 13.63%의 성장이 예상되어 2027년에는 7조 1,675억 원 규모를 형성할 것으로 예상 전망