액적 제거 효율이 향상된 클리닝 기기가 개시된다. 상기 클리닝 기기는 기판, 상기 기판 위에 특정 간격을 가지 고 배열된 전극들 및 상기 전극들 위에 형성된 절연막을 포함한다. 여기서, 상기 전극들 중 제 1 전극으로 제 1 전기 신호가 인가되고, 제 2 전극으로 제 2 전기 신호가 인가되며, 제 3 전극으로 제 3 전기 신호가 인가된다. 또한, 상기 전극들은 단층에 배열되고, 상기 제 1 전기 신호 내지 상기 제 3 전기 신호의 위상, 진폭 또는 주파 수 중 적어도 하나가 다르며, 상기 전기 신호들이 상기 전극들로 인가됨에 따라 상기 클리닝 기기의 표면에 형성 된 액적이 제거된다.