본 발명은 실리콘 나노 와이어 제조 방법, 실리콘 나노 와이어를 포함하는 태양전지 및 태양전지의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 기판; 상기 기판 상에 구비된 제1++형 다결정 실리콘층; 상기 제1++형 다결정 실리콘층으로부터 성장된 제1형 실리콘 나노 와이어를 포함하는 제1형 실리콘 나노 와이어층; 상기 제1형 실리콘 나노 와이어층이 구비된 기판 상에 구비된 진성층; 및 상기 진성층 상에 구비된 제2형 도핑층;을 포함하는 태양전지가 제공된다.