<특허 요약>
디퓨져 타입의 DBD 플라즈마 모듈이 개시된다. 상기 디퓨져 타입의 DBD 플라즈마 모듈은 바닥면부, 상기 바닥면
부의 서로 평행하는 두 개의 변에 수직하게 배치되는 제1 측면부 및 제2 측면부, 상기 바닥면부의 서로 평행하는
다른 두 개의 변에 수직하고 상기 제1 측면부 및 상기 제2 측면부 사이에 배치되는 제3 측면부 및 제4 측면부를 포함하는 챔버; 상기 바닥면부의 내면과 일정 거리 이격되게 상기 제1 측면부 및 상기 제2 측면부 사이에 지지되
는, 봉 또는 막대 형태의 코어 전극; 상기 바닥면부의 내측에서 상기 코어 전극과 일정 거리 이격되게 상기 코어
전극과 대향하는, 플레이트 형태의 대향 전극; 상기 코어 전극 및 상기 대향 전극 사이에 배치되는 유전체; 상기
제3 측면부 및 상기 제4 측면부 중 어느 하나에 배치되어, 상기 코어 전극 및 상기 대향 전극 사이로 가스를 주
입하는 적어도 하나의 가스주입구; 및 상기 제3 측면부 및 상기 제4 측면부 중 나머지 하나에 상기 코어 전극과
평행하게 연장되며, 상기 코어 전극 및 상기 대향 전극 사이에 플라즈마 생성 후 오존 및 활성종을 배출하는 슬
릿을 포함하고, 상기 코어 전극 및 상기 대향 전극 사이에 전압이 인가되는 것을 특징으로 한다.
<기술개요>
· 공정의 미세화, 저온화의 필요성에 따라 공업적으로 활발히 이용되고 있는 것은 주로 대기압 저온 플라즈마로, 주로 반도체 공정에서의 식각 및 증착, 금속이나 고분자의 표면처리, 신물질의 합성, 오염물질의 제거 등에 유용하게 이용되고 있음
· 고밀도 플라즈마 소스를 활용한, 다양한 융합 기술 개발 및 확대 적용
<기술개발 배경>
· (반도체) 반도체 소자의 미세화에 따른 성능향상 봉착으로 고집적도 소자 구현을 위한 패키징 기술의 중요성 대두
· (농업) 저온 플라즈마를 이용하여 작물의 성장을 고도화 하거나 최종 완성된 유통/가공 상태의 작물에 대한 살균 처리 필요
· (환경) 암모니아, 황화수소, VoC 저감 등에 활용 되었으며 대부분 수처리에 집중되어 연구됨
<기술내용 및 차별성>
· 각종 산업 분야에 필요한 플라즈마 소스에 대해, 맞춤형 개발이 가능
· 컴팩트한 설계가 가능하고, 인체 무해한 플라즈마 소스
<비즈니스 아이디어>
수처리 장치 및 축산폐수 처리장치, 기타 대기 정화용 장치
MOCVD 제해장치. 탄소섬유 제조. 꿀벌 응애 제거, 멸균소독기 등
<시장 동향>
· (양봉) `23년 기준 양봉 시장은 총 111억 5천만 달러를 달성하였고, `32년까지 연평균 5.9%로 185억 9천만 달러 달성이 예측됨
· (공기청정기) `22년 기준 공기청정기 시장은 총 104억 6천만 달러를 달성하였고, `31년까지 연평균 7.7%로 203억 8천만 달러 달성 예측
· (폐수처리) `23년 기준 세계 폐수처리 시스템 시장은 총 3,233억 달러였고, `32년까지 연평균 7.5%로 6,178억 달러를 달성할 것으로 예측
· (MOVCD) `22년 기준 세계 MOCVD 시장은 총 8억 9,480만 달러였고, `30년까지 연평균 32.6%로 85억 달러를 달성할 것으로 예측
· (탄소섬유) `22년 기준 세계 탄소섬유 시장은 총 9억 4천만 달러였고, `30년까지 연평균 2.8%로 11억 7천만 달러를 달성할 것으로 예측
