본 발명은 웨이퍼 표면 검출영역을 확대함으로써 검출시간을 단축할 수 있는 웨이퍼 표면 검사장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
본 발명은 전술한 과제를 해결하기 위해 웨이퍼 표면을 검사하기 위한 장치로서, 웨이퍼를 수평방향(x축) 및 수직방향(y축)으로 이동가능하게 하는 스테이지 장치와, 웨이퍼의 수직 상방에 설치되며 광학계와 카메라로 이루어지는 이미지 획득장치와, 웨이퍼의 상방 양측에 형성되는 한 쌍의 라인 레이저로 이루어지며, 상기 한 쌍의 라인 레이저는 웨이퍼의 중심의 수직상방(z축)에 대해 대칭으로 배치되고 웨이퍼에 조사되는 2개의 레이저빔이 웨이퍼 표면에 중첩적으로 조사되도록 경사지게 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 라인 레이저를 이용하여 중첩적으로 산란광이 발생하게 함으로써 웨이퍼 표면 이미지 획득시에 고가의 고해상도 카메라를 사용하지 않아도 선명한 이미지를 획득하는 장점을 가지게 된다. 게다가, 선형의 레이저빔을 사용함으로써 웨이퍼 표면에 대한 이미지 획득에 소요되는 시간이 감소됨으로써 웨이퍼 표면의 전체 이미지 획득에 소요되는 시간이 감소되어 검사시간이 단축되는 장점을 가지게 된다.