본 발명은 박막 코팅시 분체 생성을 방지하여 표면조도와 마찰계수 및 밀착력과 경도를 향상시킬 수 있도록 한 질소가 함유된 플라즈마 화학기상증착에 의한 박막 코팅방법 및 그 제품에 관한 것이다.이를 위해, 기재 표면을 활성화하고 잔류 유기물을 제거하기 위한 반응가스 를 챔버 내부에 투입하여 기재 표면을 전처리하고, 챔버 내부에 DLC층과의 밀착성 향상을 위해 N2를 포함한 반응가스를 투입하여 질화처리하므로 기재 표면에 나노화된 하지층을 형성하며, 챔버 내부에 내식성과 윤활성 향상을 위한 반응가스와 함께 NH3를 투입하여 DLC층을 코팅하는 것을 특징으로 한다.상기한 구성에 따라, DLC층 코팅 이전에 질소에 의한 고밀도 질화처리를 수행하므로 경도가 우수한 하지층이 형성되고, 미량 첨가되는 NH3를 통해 DLC생성조건에서 반응 생성물에 의한 분체를 생성하지 않아 생산성이 우수하고 제품의 불량률을 현저하게 떨어뜨리며, 표면조도와 마찰계수 및 밀착력을 향상시켜 우수한 윤활성능을 확보할 수 있고, 기재의 경도를 향상시킬 수 있는 효과도 있다.