전압축 스프링을 이용한 반발력 보상 장치 및 이를 사용하는 선형 모터 스테이지가 개시된다. 개시된 모터 스테이지는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 위치하는 자석 트랙; 상기 자석 트랙의 일면 상에서 이동하는 이동자; 및 상기 자석 트랙과 상기 베이스 플레이트 사이에 연결되고, 강성을 변화시킬 수 있는 전압축(precompressed) 스프링을 포함하되, 상기 이동자의 이동에 의해 상기 베이스 플레이트에 작용하는 반발력을 감쇠시키는 반발력 보상부;를 포함한다.