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스퍼터링 타겟용 탄탈륨 소결체 제조방법 (method of manufacturing tantalum sintering for …

페이지 정보

지적 재산권 정보
구분
10
출원번호
10-2007-0106713
출원인
한국생산기술연구원
출원일
2007.10.23
발명의 명칭
스퍼터링 타겟용 탄탈륨 소결체 제조방법 (method of manufacturing tantalum sintering for sputtering target)
과제정보
기준년도
과제고유번호
주관연구기관
세부과제번호
과제명
판매 희망 기술 정보
기술명
스퍼터링 타겟용 탄탈륨 소결체 제조방법 (method of manufacturing tantalum sintering for sputtering target)
산업기술분류
기계ㆍ소재 -> 금속재료 -> 재료공정기술
과학기술분류
재료(Materials) -> 금속재료(Metallic Materials)
기술요약정보
기술키워드
#스퍼터링 #탄탈륨 #소결체 #타겟제
기술개요및특징

본 발명은 스퍼터링 타겟용 탄탈륨 소결체 제조방법에 관한 것으로서, 탄탈륨(Ta) 분말을 그라파이트 소재로 된 몰드 내에 충진하는 단계와, 탄탈륨 분말이 충진된 몰드를 방전 플라즈마 소결 장치의 챔버 내에 장착하는 단계와, 챔버 내부를 진공화하는 단계와, 몰드 내의 탄탄륨에 30 내지 40MPa의 가압력을 유지하면서, 80/min 내지 120/min의 승온 속도로 승온시키는 단계와, 탄탈륨의 온도가 1400 내지 1750범위 내에서 설정된 목표온도에 도달하면 목표온도를 2 내지 10분 동안 더 유지하여 성형하는 단계와, 챔버 내부를 냉각하는 단계를 포함한다. 이러한 스퍼터링 타겟용 탄탈륨 소결체 제조방법에 의하면, 타겟용에 적합하게 입자의 미세화가 가능하고 균질한 조직과 고밀도를 갖는 탄탈륨 스퍼터링 타겟재를 제공할 수 있다.

기술개발상태
특허만신청(등록)
응용분야
스퍼터링 타겟용 탄탈륨 소결체
사업화적용 실적
도입시 고려사항
이전정보
희망이전유형
기술매매,라이센스
기술이전조건
협의후 진행
기술이전금액
판매자정보
이름
김단아
소속회사명
(재)경기테크노파크
전화번호
031-500-3037
휴대전화번호
이메일
dana7337@gtp.or.kr
연구개발자 정보
이름
오익현
소속회사명
전화번호
휴대전화번호
이메일
기술관련자료 정보
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기술관련자료
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