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포토리소그래피에 의한 양자점 박막의 패터닝 방법 및 상기 양자점 박막을 포함하는 디스플레이 장치

페이지 정보

지적 재산권 정보
구분
10
출원번호
10-2022-0071233
출원인
명지대학교 산학협력단
출원일
2022-06-13
발명의 명칭
포토리소그래피에 의한 양자점 박막의 패터닝 방법 및 상기 양자점 박막을 포함하는 디스플레이 장치
과제정보
기준년도
2022
과제고유번호
1711167714
주관연구기관
명지대학교
세부과제번호
2021R1F1A1047892
과제명
원자층증착법을 활용한 미세 패터닝된 양자점 전계발광 소자 개발
판매 희망 기술 정보
기술명
포토리소그래피에 의한 양자점 박막의 패터닝 방법 및 상기 양자점 박막을 포함하는 디스플레이 장치
산업기술분류
전기ㆍ전자 -> 디스플레이 -> 디스플레이 부품 및 소재
과학기술분류
전기/전자(Electricity and Electronics) -> 디스플레이(Display) -> 디스플레이 부품/소재(Display components/material)
기술요약정보
기술키워드
#디스플레이 #양자점 #발광소재
기술개요및특징

본 발명은 포토리소그래피에 의해 양자점 박막을 패터닝하는 방법 및 상기 패터닝된 양자점 박막을 포함하는 디스플레이 장치에 관한 것이다. 구체적으로, 상기 방법은 (a) 기판 상에 양자점 층을 형성하는 단계; (b) 상기 양자점 층 상에 1회 이상의 원자층 증착법에 의해 금속 산화물을 증착하여 금속 산화물층을 형성하는 단계; (c) 상기 금속 산화물층 상에 포토레지스트를 도포하는 단계로서, 상기 포토레지스트는 술폰산기(sulfonic group)을 포함하지 않는 포토레지스트인 단계; 및 (d) 상기 포토레지스트를 노광 및 현상하여 양자점 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명의 방법에 의하면 화학적 환경에 매우 취약한 In-계열 양자점을 비롯한 양자점의 박막을 양자점 용해, 발광 강도나 수명과 같은 발광 특성의 손실과 같은 문제점 없이 통상의 포토리소그래피에 의해 패터닝할 수 있게 된다. 

기술개발상태
특허만신청(등록)
응용분야
디스플레이
사업화적용 실적
없음
도입시 고려사항
협의가능
이전정보
희망이전유형
기술매매,라이센스,기술협력,기술지도
기술이전조건
협의후 진행
기술이전금액
기타
판매자정보
이름
이선영
소속회사명
명지대학교 산학협력단
전화번호
031-330-6875
휴대전화번호
031-330-6875
이메일
sylee81@mju.ac.kr
연구개발자 정보
이름
조성용
소속회사명
한양대학교(이직)
전화번호
031-330-6875
휴대전화번호
031-330-6875
이메일
sylee81@mju.ac.kr
기술관련자료 정보
대표이미지
기술관련자료
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