탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경 및 이를 이용한 검사 방법
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name 0 Comments 380 Views -1-11-30 00:00 기타본문
- 기술요약
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본 발명은 전자 현미경에 대한 것으로서 특히 진공 챔버를 탈부착 가능하게 설치하여 검사 대상이 되는 시편의 크기가 큰 경우에도 필요에 따라 이동하여 검사할 수 있도록 하여 종래보다 사용상의 편의성이 증진되는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경 및 이를 이용한 검사 방법에 대한 것이다.
일반적인 전자 현미경 및 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 챔버 유닛 도시하는 개념도