전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵
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- 기술요약
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본 발명은 다양한 사이즈의 전자빔을 얼라인먼트할 수 있는 전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵을 위하여, 전자총에 결합될 수 있으며 개구를 갖는 하우징과, 상기 하우징에 회전가능하게 결합되며, 상기 전자총에서 방출된 전자가 부딪칠 수 있는 제1프르브와, 상기 제1프르브를 상기 하우징에 회전가능하게 결합하는 샤프트와, 상기 하우징에 결합되어 상기 제1프르브를 통과한 전자가 부딪치는 제2프르브를 포함하고, 상기 제1프르브는 상기 전자의 적어도 일부가 통과하며 상기 하우징의 개구에 각각 배치될 수 있으며 상호 크기가 다르고 각각이 중심축이 상호 교차하는 복수의 홀을 구비하는 전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵을 제공된다.
일 실시예에 따른 전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵을 개략적으로 도시하는 사시도