레이저 어블레이션을 이용한 금형 표면 마이크로 구조물 형성방법
페이지 정보
name 0 Comments 215 Views -1-11-30 00:00 기타본문
- 기술요약
-
본 기재의 마이크로 구조물 형성방법은, 레이저 발진기에서 레이저빔을 생성하는 단계, 상기 레이저빔을 스캐너를 지나 렌즈를 통과시켜 포커싱 하는 단계, 상기 금형의 표면을 상기 렌즈의 초점 거리(focal distance)보다 더 큰 작업 거리(working distance)만큼 이격시켜서 단위 면적당 레이저 에너지를 변화시키는 단계, 상기 스캐너를 이용하여 상기 금형의 표면에 대하여 상기 레이저빔을 스캔하면서 상기 금형 표면을 가공하는 단계를 포함하고, 상기 레이저빔의 스캔 영역에 대응되는 상기 금형의 표면에 볼록렌즈 형상의 마이크로 구조물을 형성할 수 있다.
일 실시예에 따른 마이크로 구조물 형성방법을 수행할 수 있는 레이저 가공 시스템의 구성도 구매절차