간섭 리소그래피 장치
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name 0 Comments 254 Views -1-11-30 00:00 기계본문
- 기술성요약
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간섭 리소그래피 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 광원부와, 프리즘과, 제 1 반사미러를 포함하되, 상기 광원부는, 상기 프리즘으로 빔을 조사하고, 상기 프리즘은, 상기 빔을 제 1 빔과 제 2 빔으로 분광하여, 상기 제 2 빔을 상기 제 1 반사미러로 반사시키고, 상기 제 1 빔을 기판으로 반사시키며, 상기 제 1 반사미러는, 상기 제 2 빔을 상기 기판으로 반사시켜 상기 기판상에 반복적인 선형패턴을 형성하되, 상기 프리즘은, 삼각형 형태의 제 1 프리즘과 평행사변형 형태의 제 2 프리즘이 일체로 형성된 삼각형-평행사변형 일체형 프리즘을 포함하고, 회전 가능하도록 형성되며, 상기 프리즘의 회전을 통해 상기 제 1 빔이 상기 기판에 입사되는 제 1 입사각과 상기 제 2 빔이 상기 기판에 입사되는 제 2 입사각을 동시에 조절 가능한 간섭 리소그래피 장치가 제공될 수 있다.
간섭 리소그래피 장치의 제 2 작동을 보여주는 작동상태도