나노/마이크로 하이브리드 구조물 제조방법
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name 0 Comments 148 Views -1-11-30 00:00 기타본문
- 기술요약
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본 발명은 나노/마이크로 하이브리드 구조물 제조방법에 관한 것이며, 본 발명의 나노/마이크로 하이브리드 구조물 제조방법은 기판 상에 제1패턴층을 적층하는 제1패턴층 적층단계; 상기 제1패턴층 상에 나노물질로 이루어지는 나노마스크를 도포하는 나노마스크 도포단계; 상기 제1패턴층 및 상기 나노입자 상에 제2패턴층을 적층하는 제2패턴층 적층단계; 상기 제2패턴층의 상측에 마이크로 스케일의 패턴 폭을 가지는 마이크로 마스크를 정렬하는 정렬단계; 상기 나노마스크 및 상기 마이크로 마스크를 이용하여 상기 제1패턴층 및 상기 제2패턴층을 패터닝하는 패터닝단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 단일의 패터닝 공정만을 통하여 나노 스케일 구조물과 마이크로 스케일 구조물이 혼합되는 하이브리드 구조물을 용이하게 제작할 수 있는 나노/마이크로 하이브리드 구조물 제조방법이 제공된다.
나노/마이크로 하이브리드 구조물 제조방법의 공정흐름도