금속박막의 선택적 제거에 의한 패턴형성 방법
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name 0 Comments 138 Views -1-11-30 00:00 기타본문
- 기술요약
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본 발명은 기판의 금속박막 패터닝 과정에서 제거해야 할 영역을 선택적으로 제거하여 다양한 기대 효과를 얻을 수 있는 금속박막의 선택적 제거에 의한 패턴형성 방법에 관한 것으로서, 기판에 금속박막층을 증착하는 증착단계, 상기 기판과 상기 금속박막층간의 영역 중 적어도 일부의 접합력이 증가되도록 돌출되는 돌출패턴을 갖는 스탬프를 상기 금속박막층에 접촉하여 가압하는 가압단계, 상기 금속박막층에서 상기 돌출패턴에 의하여 가압 되지않는 영역을 선택적으로 제거하여 패턴을 형성하는 패턴형성단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
금속 박막의 선택적 제거에 의한 패턴 형성방법을 설명하기 위한 공정도