멀티 나노센서 및 그 제조 방법
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name 0 Comments 140 Views -1-11-30 00:00 전자~전기본문
- 기술요약
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본 발명은 멀티 나노센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 전극 간의 간격이 상이한 복수 개의 나노센서로 구성되어, 각 나노센서의 전기적 신호를 측정하고 비교함으로써 표적 분자를 정확하게 검출할 수 있는 나노센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 멀티 나노센서는 기존의 소자 아키텍쳐에서는 센서와 별도로 필요했던 나노포어의 역할을 동시에 수행하며 나아가 다른 종류의 신호를 발현하는 복수개의 센서를 활용하여 표적 분자를 정확하고, 빠르게 검출할 수 있다는 장점을 가진다. 본 발명의 멀티 나노센서 제조 방법은, 스페이서로 2차원 박막 형태의 층상 물질(layered materials)을 중첩하여 사용함으로써, 전극의 간격을 nm(나노 미터) 단위로 용이하게 조절할 수 있다는 장점을 가진다.
제1실시예에 따른 멀티 나노센서의 도면