가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템 및 이를 이용하는 노광방법
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- 기술요약
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본 발명은 인라인 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 인라인 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템은 기판을 소정의 방향으로 이송하는 이송부; 노광 대상인 피노광물을 마련하기 위하여 상기 기판에 감광제를 적층하는 감광제 적층부; 상기 감광제가 적층된 상태로 이송되는 피노광물에 광을 조사하여 노광하는 노광부; 상기 노광된 피노광물을 인화하는 인화부;를 포함하는 것을 특징으로한다. 이에 의하여, 대면적의 기판에 마스크 없이 패턴을 형성할 수 있는 인라인 가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템이 제공된다.
가상의 조사패턴을 이용하는 인라인 노광 시스템의 변형례의 개략도