판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치
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name 0 Comments 158 Views -1-11-30 00:00 기계본문
- 기술요약
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본 발명은 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판상에 증착 또는 전사된 2차원 구조를 갖는 나노박막을 롤러 또는 슬라이더로 가압하여 나노박막과 기판사이를 강하고 균일하게 접착시킴으로써 나노박막의 전기적, 기계적 및 광학적 특성을 향상시킬 수 있는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치 및 방법에 관한 것이다.
상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치를 나타낸 사시도