능동탈부착 chuck
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name 0 Comments 142 Views -1-11-30 00:00 기계본문
- 기술요약
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본 발명은 나노 구조물을 변형없이 자유롭게 탈부착할 수 있는 척에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 척은 전자석으로 형성된 몸체, 가장자리부가 상기 몸체의 일면에 고정되도록 부착된 자성체 및 상기 자성체의 상기 몸체가 위치하는 반대쪽 면에 부착된 소프트 폴리머를 포함한다. 상기 자성체의 중앙부는 상기 몸체에 전원이 연결된 경우 몸체에 밀착하고, 상기 몸체에 전원이 연결되지 않은 경우 상기 몸체와 이격된다.
척을 이용하여 소자를 탈부착하는 방법을 나타낸 도면