프로브카드의 전기적 전달특성 측정을 위한 프로브카드 고정장치
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name 0 Comments 134 Views -1-11-30 00:00 기계본문
- 기술성
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본 발명의 일 실시예는 피측정부, 즉 ZIF커넥터 및 프로브카드팁을 양면에 구비한 프로브카드의 전기적 전달특성을 측정할 수 있도록 프로브카드를 고정하는, 프로브카드의 전기적 전달특성 측정을 위한 프로브카드 고정장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브카드의 전기적 전달특성 측정을 위한 프로브카드 고정장치는, 프로브카드를 고정시키는 고정부, 측정부에 연결되어 상기 프로브카드의 양면에 각각 구비되는 ZIF커넥터와 프로브카드팁에 각각 접촉되는 제1, 제2 측정부프로브팁, 제1, 제2 측정부프로브팁조절부, 상기 ZIF커넥터와 상기 제1 측정부프로브팁 사이를 보여주는 제1 카메라, 제1 카메라조절부, 상기 프로브카드팁과 상기 제2 측정부프로브팁 사이를 보여주는 제2 카메라, 및 제2 카메라조절부를 포함한다.
프로브카드의 개념도