카본 나노 튜브가 코팅된 미세 접촉 프로브
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name 0 Comments 160 Views -1-11-30 00:00 기계본문
- 기술요약
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본 발명은 프로브 카드(probe card)에 사용되는 미세 접촉 프로브에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 반도체 칩의 전기적 검사를 수행하는 프로브 카드에 사용되는 프로브 카드용 미세 접촉 프로브로서, 상기 프로브 카드용 미세 접촉 프로브는, 표면을 거칠게 함으로써 상기 반도체 칩의 패드와의 접촉시 자연 산화막의 침투 및 제거를 가능하게 하여 접촉저항을 감소시키고 고주파 특성을 향상시키기 위해서 표면에 형성되는 나노 구조물의 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 미세 접촉 프로브가 제공된다.
표면에 카본 나노 튜브가 코팅된 본 발명의 미세 접촉 프로브에 의하면, 프로브와 반도체 칩 사이의 접촉저항이 낮아지고 고주파 특성이 향상되어 더욱 정확한 측정이 가능하게 된다.
카본 나노 튜브가 코팅되는 미세 접촉 프로브의 다양한 예를 도시하는 도면