나노와이어가 구비된 기판 및 이의 제조방법
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name 0 Comments 144 Views -1-11-30 00:00 화학본문
- 기술요약
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나노와이어가 구비된 기판은, 폴리머로 이루어진 모재(120)와, 상기 모재(120) 일측에 알에프 플라즈마 또는 이온빔을 조사하여 형성된 나노돌기(130)와, 상기 나노돌기(130) 일측에 플라즈마 중합법(Plasma polymerization)을 통해 형성된 실리콘계 화합물로 이루어진 나노와이어(140)를 포함하여 구성됨을 특징으로 함
나노와이어가 구비된 기판을 확대하여 나타낸 사진