질화 촉매용 전구체를 이용한 반응소결 질화규소 소결체의 제조방법 및 이에 의하여 제조되는 나노 구조의 질화규소
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name 0 Comments 150 Views -1-11-30 00:00 화학본문
- 기술요약
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질화규소의 제조방법은 기존의 질화규소 제조방법에 비해서 소량의 지르코니아 형성 전구체 사용으로도 충분한 질화촉매의 효과를 얻고, 필요할 경우 가스압소결반응로를 이용하여 질화온도를 낮추며, 방전플라즈마소결방법을 이용하여 소결온도를 낮추므로, 기존의 질화규소에 비해서 크게 향상된 마모 저항 특성을 나타낸다. 따라서, 본 발명에 따른 질화규소의 제조방법은 나노 구조의 질화규소를 대량으로 제조하기에 유용하며, 상기 나노구조의 질화규소는 베어링이나 기계밀봉(mechanical sealing) 등의 내마모성 재료에 유용하게 사용될 수 있다
질화촉매 1 중량%, 1600 ℃ 조건의 SRBSN 공정으로 제조한 질화규소 소결체의 미세구조를 주사전자현미경으로 찍은 사진