고정밀 패턴 구리도금 구조물, 구리도금액 및 이를 이용한 고정밀 패턴 구리도금 구조물의 형성방법
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name 0 Comments 156 Views -1-11-30 00:00 화학본문
- 기술요약
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고정밀 패턴 구리도금 구조물은, 0.26M ~ 1M의 CuSO4와, 0.5M ~ 2M의 H2SO4와, TU(CH4N2S) 및 SVH(C10H13NO3S)를 포함하는 유기물첨가제로 이루어진 구리도금액 및 패턴을 가지는 마스터에 펄스 전류를 인가하여 형성되며 본 발명에 의한 구리도금액은, 0.26M ~ 1M의 CuSO4와, 0.5M ~ 2M의 H2SO4와, TU(CH4N2S) 및 SVH(C10H13NO3S)를 포함하는 유기물첨가제로 이루어지며, 상기 유기물첨가제는 100~300ppm의 TU(CH4N2S)와 200ppm 이하의 SVH(C10H13NO3S)가 첨가되는 것을 특징으로 함
고정밀 패턴 구리도금 구조물이 형성된 마스터의 측면 확대 사진