금속 나노패터닝과 화학적 에칭 공정을 이용한 실리콘 나노튜브 제조방법
페이지 정보
name 0 Comments 158 Views -1-11-30 00:00 화학본문
- 기술요약
-
금속을 이용한 화학적 에칭(Metal-Assisted Chemical Etching) 공정으로 상기 실리콘층을 에칭하여 튜브형상의 실리콘 나노튜브를 제조하는 에칭단계를 포함하는 것을 특징으로 함
금속 나노패터닝과 화학적 에칭 공정을 이용한 실리콘 나노튜브 제조방법을 개략적으로 도시한 순서도