ＡＦＭ 프로브
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name 0 Comments 147 Views -1-11-30 00:00 기계본문
- 기술요약
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본 발명은, 원자력 현미경(Atomic Force Microscope; AFM)에 이용되는 AFM 프로브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 마이크로 단위 또는 나노 단위의 크기를 갖는 미소 구조물의 형상(topography) 및 기계적 물성 테스트에 공용으로 이용 가능한 AFM 프로브의 제공을 그 기술적 과제로 한다. 이를 위해, 본 발명에 따른 AFM 프로브는, 일 축선 상에 고정 단부(fixed end)와 이동 단부(movable end)를 갖는 탄성 변형 가능한 중공 프레임과, 상기 이동 단부에 지지되어, 시편에 대항하여 상기 축선 방향으로 이동가능한 AFM팁과, 상기 중공 프레임의 내측면에 구비되어, 상기 AFM팁의 상기 축선 방향으로의 이동을 정해진 범위 내에서 규제하는 스토퍼를 포함한다.
AFM 프로브의 작용을 설명하기 위한 도면