본 발명은 프로브 카드(probe card)에 사용되는 벨로우즈 형상을 가진 캔틸레버형 미세 접촉 프로브에 관한 것이다.

반도체 칩의 정상 유무를 전기적으로 테스트하기 위해 사용되는 캔틸레버형 프로브 카드는, 프로브가 수직방향으로 세워져 상단의 프로브 카드 본체에 고정되고 하단의 프로브 끝이 반도체 칩의 패드와 접촉되는 구조를 갖는다. 그리고 완전한 전기적 접촉을 위하여 어느 정도의 접촉력이 필요하며, 패드에 단차가 존재할 경우 이를 극복하기 위해 변형을 흡수할 수 있는 구조를 갖는다. 기존의 단일빔을 가진 캔틸레버형 프로브는 스크럽(Scrub)의 크기가 커서 작은 패드에 사용하는데에는 문제점이 있다.

본 발명에서는 스크럽을 줄이기 위하여 기존의 단일빔 대신에 이중빔을 사용한것과 이러한 이중빔에 벨로우즈 형상을 사용하여 프로브에 변형이 생길 경우 발생되는 면외거동 현상과 응력집중 현상을 제거하도록 프로브를 설계한 것을 특징으로 한다. 프로브를 벨로우즈 형상으로 설계하면 면외거동 없이 프로브가 응력을 고르게 받을 수 있으므로 수만 회의 반복 작동횟수를 만족시킬 수 있다.