커켄달 보이드의 생성 억제 효과가 우수한 치아조직을 갖는 솔더 접합 구조 및 그 제조 방법
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name 0 Comments 280 Views -1-11-30 00:00 화학본문
- 기술요약
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직류 전해도금법을 이용하여 구리-니켈 치아조직층을 형성한 후, 솔더링 공정을 수행함으로써, 커켄달 보이드의 생성 억제 효과가 우수한 치아조직을 갖는 솔더 접합 구조 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다.
본 발명의 실시예에 따른 치아조직을 갖는 솔더 접합 구조는 기판의 패드를 구성하는 구리-니켈 치아조직층; 상기 구리-니켈 치아조직층 상에 접속된 솔더; 및 상기 구리-니켈 치아조직층과 솔더 간의 계면에 형성되어, 커켄달 보이드(Kirkendall void)의 생성을 억제하는 금속간 화합물층;을 포함하며, 상기 구리-니켈 치아조직층은 구리(Cu) : 50 ~ 65 중량% 및 니켈(Ni) : 35 ~ 50 중량%를 포함하는 것을 특징으로 한다.
[치아조직을 갖는 솔더 접합부의 구조를 나타낸 도면]