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자가 치유가 가능한 반도체 소자[SEMICONDUCTOR DEVICES CAPABLE OF SELF-CURING]

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최고관리자  0 Comments  1 Views  20-11-10 15:46  기계

본문

기술 정보
  • 기술분야

    반도체

  • 현재 권리자

    삼성전자 주식회사

  • Main IPC

     H01L-27/108

  • 존속기간 만료예정일

    2033-05-23

  • 출원번호
    (출원일)

    10-2013-0058470
    (2013-05-23)
    (2013-05-23)

  • 등록번호
    (등록일)

    10-2054260
    (2019-12-04)

기술개발 목적
-전기적 혹은 열적 스트레스에 의해 반도체 소자의 전기적 특성이 열화되는 현상이 발생함. 이러한 열화 현상은 베이크 설비로 반도체 소자를 로딩시켜 베이킹 공정으로 치유할 수 있음
-이처럼 기존에는 반도체 소자를 치유하기 위해 베이크 설비와 베이킹 공정이 별도로 필요하였으며 제조 비용이 상승하고 생산성이 떨어지는 문제가 발생하며, 제품이 출시된 경우 불량 문제를 치유하는 것이 거의 불가능함
기술의 효과
-대기 상태에서 셀프 히팅이 가능하게 구성되어 베이크 설비 없이도 자가 치유할 수 있음. 따라서 반도체 소자의 전기적 특성의 열화를 방지할 수 있으며, 수명을 길게 연장시킬 수 있는 효과가 있음
적용 산업분야

*출처 : 삼성전자
반도체

시장규모 및 전망

*출처 : WSTS(2020.12), IC Insights 및 수출입은행
반도체 시장은 2019년 2,269억 달러에서 연평균 7.6% 성장하여 2025년 3,389억 달러의 규모로 전망됨

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