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적층된 다이 패키지, 이를 포함하는 시스템 및 이의 제조 방법[Stacked die package, system having the die package, manufacturing method thereof]

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최고관리자  0 Comments  1 Views  20-11-10 15:46  기계

본문

기술 정보
  • 기술분야

    반도체

  • 현재 권리자

    삼성전자 주식회사

  • Main IPC

     H01L-23/48

  • 존속기간 만료예정일

    2033-01-24

  • 출원번호
    (출원일)

    10-2013-0007765
    (2013-01-24)
    (2013-01-24)

  • 등록번호
    (등록일)

    10-2021077
    (2019-09-05)

기술개발 목적
-다이 패키징 공정이라고 불리는 반도체 패키징 공정은 와이어 본딩을 이용하여 복수의 다이들이 패키지 기판 위에 적층될 때, 다이들 각각은 중앙 패드와 에지 패드를 접속시키기 위한 재분배층을 포함함
-중앙 패드와 에지 패드 사이의 거리가 증가할수록 복수의 다이들 각각의 커패시턴스와 레지스턴스가 증가하며, RDL 공정이 추가됨에 따라 패키징 비용이 증가함
-TSV를 이용하여 복수의 다이들이 패키지 기판 위에 적층될 때, 복수의 다이들 각각에서 TSV 를 형성하기 위한 공정이 요구될 수 있지만, 이 공정 또한 패키징 비용을 증가시킴 
기술의 효과
-복수의 다이들을 적층하기 위해 인터포저의 수직적 전기적 소자들을 이용함으로써 다이 패키징 공정 비용을 감소시킬 수 있음
적용 산업분야

*출처 : 삼성전자
반도체

시장규모 및 전망

*출처 : WSTS(2020.12), IC Insights 및 수출입은행
반도체 시장은 2019년 2,269억 달러에서 연평균 7.6% 성장하여 2025년 3,389억 달러의 규모로 전망됨

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