입자분급 시스템
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최고관리자 0 Comments 1 Views 20-11-10 15:46 기계본문
- 분야 : 전자~전기 개발상태 3 9
기술완성도
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TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
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TRL08
시작품 인증/
표준화- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
- 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
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TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
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TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
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TRL05
시제품 제작/
성능평가- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
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TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
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TRL03
연구실 규모의
성능 검증- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
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TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
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TRL01
기초 이론/
실험- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
- 주요기술구성
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▶ 본 기술은 전기장이 인가되었을 때 입자의 크기에 따라 이동도가 상이해지는 현상을 이용하여 입자의 분포를 측정할 수 있는 입자 분급 시스템에 관한 것임
- 적용분야 및 적용제품
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▶ 반도체 생산 공정의 클린룸과 같은 청정공간에 활용 가능
- 시장동향
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▶ 반도체 측정/분석/검사 장비 및 부품 세계 시장은 2017년 5,320백만 달러에서 연평균 11.4%씩 성장하여 2023년에는 10,140백만 달러에 이를 것으로 전망
▶ 최근 반도체 산업이 회복기에 진입하고 제조공정 신기술들이 개발됨에 따라 반도체 측정/분석/검사 장비 및 부품의 수요가 증가하고 있음
▶ 또한, 반도체의 유지보수 효율화, 고성능화 등의 요구에 따라 검사장비 또한 고도화, 복합화를 요구하고 있음
- 특장점
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- 기존 기술의 문제점
- ▶ 기존 전기적 입자 분급장치 방법은 입자 분급에 많은 시간이 소요되며, 매연의 배출 특성을 측정하기가 어려움
▶ 또한, 입자의 하전량이 작은 경우 정확한 입자의 분포 및 개수를 측정하기 어려움
- 기존 기술과의 차별성
- ▶ 입자 분급 장치에서 분급된 입자의 개수를 정확하게 측정이 가능함
▶ 시스템의 장치 구성을 단순화하여 기존 방식보다 빠른 시간에 입자의 개수(발생량)과 크기 및 분포 파악이 가능함