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입자분급 시스템

페이지 정보

최고관리자  0 Comments  1 Views  20-11-10 15:46  기계

본문

분야 : 전자~전기 개발상태 3 9
입자분급 시스템
보유기관 및 연구자 : 한양대학교 ERICA 최영진
  • 특허정보

    입자 분급 시스템 (No : 10-1579668)

  • 거래조건 : 별도 협의

기술완성도

  • TRL09

    사업화

    • 본격적인 양산 및 사업화 단계
  • TRL08

    시작품 인증/
    표준화

    • 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
      - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
  • TRL07

    Pilot 단계 시작품
    신뢰성 평가

    • 시작품의 신뢰성 평가
    • 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
  • TRL06

    Pilot 단계 시작품
    성능 평가

    • 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
    • 시작품 성능평가
  • TRL05

    시제품 제작/
    성능평가

    • 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
    • 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
  • TRL04

    연구실 규모의
    부품/시스템 성능평가

    • 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
    • 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
  • TRL03

    연구실 규모의
    성능 검증

    • 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
    • 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
    • 모델링/설계기술 확보
  • TRL02

    실용 목적의 아이디어/
    특허 등 개념 정립

    • 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
  • TRL01

    기초 이론/
    실험

    • 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
주요기술구성
▶ 본 기술은 전기장이 인가되었을 때 입자의 크기에 따라 이동도가 상이해지는 현상을 이용하여 입자의 분포를 측정할 수 있는 입자 분급 시스템에 관한 것임

적용분야 및 적용제품
▶ 반도체 생산 공정의 클린룸과 같은 청정공간에 활용 가능

시장동향
▶ 반도체 측정/분석/검사 장비 및 부품 세계 시장은 2017년 5,320백만 달러에서 연평균 11.4%씩 성장하여 2023년에는 10,140백만 달러에 이를 것으로 전망
▶ 최근 반도체 산업이 회복기에 진입하고 제조공정 신기술들이 개발됨에 따라 반도체 측정/분석/검사 장비 및 부품의 수요가 증가하고 있음
▶ 또한, 반도체의 유지보수 효율화, 고성능화 등의 요구에 따라 검사장비 또한 고도화, 복합화를 요구하고 있음

특장점
기존 기술의 문제점
▶ 기존 전기적 입자 분급장치 방법은 입자 분급에 많은 시간이 소요되며, 매연의 배출 특성을 측정하기가 어려움
▶ 또한, 입자의 하전량이 작은 경우 정확한 입자의 분포 및 개수를 측정하기 어려움
기존 기술과의 차별성
▶ 입자 분급 장치에서 분급된 입자의 개수를 정확하게 측정이 가능함
▶ 시스템의 장치 구성을 단순화하여 기존 방식보다 빠른 시간에 입자의 개수(발생량)과 크기 및 분포 파악이 가능함
우수기술 Gyeonggi Technology Market