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[포항가속기연구소] 스테인리스강 진공용기의 급속배기 표면처리

페이지 정보

최고관리자  0 Comments  1 Views  20-11-10 15:46  기계

본문

분야 : 화학 개발상태 9
스테인리스강 진공용기의 급속배기 표면처리
보유기관 및 연구자 : 하태균 / 포항가속기연구소
  • 특허정보
  • 거래조건 : 추후 협의

기술완성도

  • TRL09

    사업화

    • 본격적인 양산 및 사업화 단계
  • TRL08

    시작품 인증/
    표준화

    • 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
      - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
  • TRL07

    Pilot 단계 시작품
    신뢰성 평가

    • 시작품의 신뢰성 평가
    • 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
  • TRL06

    Pilot 단계 시작품
    성능 평가

    • 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
    • 시작품 성능평가
  • TRL05

    시제품 제작/
    성능평가

    • 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
    • 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
  • TRL04

    연구실 규모의
    부품/시스템 성능평가

    • 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
    • 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
  • TRL03

    연구실 규모의
    성능 검증

    • 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
    • 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
    • 모델링/설계기술 확보
  • TRL02

    실용 목적의 아이디어/
    특허 등 개념 정립

    • 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
  • TRL01

    기초 이론/
    실험

    • 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
기술개요
○ 스테인리스강 표면에 치밀하고 순수한 크롬산화막을 형성하여 수분 흡착을 감소시켜, 공기 노출 후 고진공 도달 시간을 획기적으로 줄일 수 있는 기술
기존 문제점
○ 기존의 일반 스테인리스강 진공 챔버는 표면에 다량의 수분이 흡착되므로 고진공에 도달하는 시간이 길어서 주기적인 공기 노출(벤팅)이 필요한 진공 공정의 효율 저하
기술 차별점
○ 표면의 치밀하고 순수한 크롬산화막에 의해 공기 노출 시 표면 수분 흡착 최소화
○ 주기적인 공기 노출이 필요한 진공 공정에 적용 시 공정 시간의 획기적인 단축 가능
세부내용

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