높은 동작전류를 보이는 나노선 TFET의 제조 방법 및 그 나노선 TFET
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최고관리자 0 Comments 1 Views 20-11-10 15:46 기계본문
- 분야 : 기타 개발상태 9
기술완성도
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TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
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TRL08
시작품 인증/
표준화- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
- 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
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TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
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TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
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TRL05
시제품 제작/
성능평가- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
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TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
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TRL03
연구실 규모의
성능 검증- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
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TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
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TRL01
기초 이론/
실험- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
- KEYWORD
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TFET, 나노선, 동작전류, 수직성장, 수평성장, 선택적 영역 성장
- 기술개요
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TFET에서 터널링이 일어나는 지역을 비약적으로 늘려서 높은 동작 전류를 보이도록 하는 나노선 TFET의 제조 방법 및 그 나노선 TFET
- 주요 기술내용
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• 종래기술의 문제점
기존의p-i-n 나노선TFET 구조는수직으로형성된p-i정션에서의밴드벤딩만을이용하여
터널링전류를얻음→ 단위면적당얻을수있는동작전류의양이한정됨
• 본 기술의 해결방안
- 수평 방향으로의 p-i 정션을 추가로 형성 → 동작전류 증가
- 시장 및 기술동향
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- 터널 전계효과 트랜지스터(TFET) 시장은 예측 기간 동안 약 12%의 CAGR의 꾸준한
성장을 보일 것으로 예상됨
- 최근 자율주행차, 사물인터넷 등의 등장으로 많은 양의 데이터를 저전력, 고속으로
처리할 수 있는 비메모리 반도체의 기술 발달이 시급한 실정임
- TEFT는 현재 실용화 단계로 급속도로 접근 중이므로 소자/공정/설계의 모든 분야에서
융합연구가 이루어지고 있음
- 기술활용 분야
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✓ 전자기기 분야 - 스마트폰, 웨어러블 디바이스, IoT 시스템 등
스마트폰
- 기술활용 분야
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✓ 센서 분야 - 건강검진, 바이오 센서, 기상 관측 등
기상 센서
- 기술활용 분야
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✓ IoT(사물인터넷) 분야 - AI(인공지능), 자율주행 자동차, 추적기 등
IoT
- 특장점
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- 관통전위무시可
- 나노선을선택적영역성장기술을 이용하여성장시켜, 기판과다른물질을 성장하여도관통전위무시할수있음
- 공정의단순화
- 인 시투(In-situ) 도핑을사용하기때문에 공정복잡도가줄어들며,결정질의손해 없이좋은도핑프로파일획득