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[고려대학교] 투명 전극 형성 방법 및 이를 이용하여 제조된 반도체 장치

최고관리자　 0 Comments　 1 Views　 20-11-10 15:46　 기계

분야 : 전자~전기 개발상태 3 9

투명 전극 형성 방법 및 이를 이용하여 제조된 반도체 장치

보유기관 및 연구자 : 고려대학교/김태근

특허정보
투명 전극 형성 방법 및 이를 이용하여 제조된 반도체 장치 (No : 10-1321353)

마이크로 발광소자용 투명전극 및 그 제조 방법 (No : -)

투명 전극을 구비하는 수직형 발광소자 및 그 제조 방법 (No : 10-1436133)

투명 전극을 구비하는 수광소자 및 그 제조 방법 (No : 10-1439530)

전도성 필라멘트가 형성된 투명 전극을 구비하는 유기 발광소자 및 그 제조 방법 (No : 10-1543689)
거래조건 : 라이센스

상담신청 기술문의

TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL08
시작품 인증/
표준화
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
  - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가
- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
TRL05
시제품 제작/
성능평가
- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가
- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL03
연구실 규모의
성능 검증
- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립
- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL01
기초 이론/
실험
- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계

기술개요: ○ 투명 전극 형성 방법 및 이를 이용하여 제조된 반도체 장치에 관한 것으로, 고투과도 및 고전도성, 양호한 오믹 특성을 나타내기 때문에 LED, 태양전지 등 다양한 분야에서 유용하게 쓰일 수 있음

연구의 필요성: ○ 고투과도와 고전도성, 양호한 오믹 특성을 나타내는 투명 전극 기술이 필요함
-투명 전극은 LED, 태양전지, 의료용 자외선 소독기 등 다양한 분야에서 이용되고 있으며, 응용 분야 및 수요가 지속적으로 증대되고 있음
-기존의 기술은 자외선 영역에서 고전도성과 고투과도를 나타내지 못하며, 오믹 콘택이 이루어지지 않는다는 한계가 있어 특히 UV LED의 상용화에 어려움을 겪고 있음

[투명 전극을 구비하는 반도체 장치의 구조]

기술 구현: ○ 실시 예에 따른 투명 전극 형성 방법
-반도체층 위에 투명 전극과 포토레지스트층을 형성함
-포토레지스트층 위에 포밍용 전극 패턴을 형성함
-금속을 증착하여 패턴 내부를 채움
-금속층 및 포토레지스트층을 제거하여 전극을 완성함
-전극에 전압을 인가하면 투명 전극 내부에 전도성 필라멘트가 형성되어 투명 전극이 저저항 상태로 변화됨

[투명 전극을 형성하는 방법]

시장동향: 2016년 세계 LED 시장규모는 5,795억 달러로 전년대비 2.6% 증가하였으며, 이는 향후에도 년 약 3% 증가가 지속되어 2021년 7,653억 달러로 꾸준한 증가세를 보일 것으로 전망

[세계 LED산업 시장 규모]

특장점

차별성: ○ 투명 전극을 저저항 상태로 변화시키는 포밍 공정 수행
-인가되는 전계에 의해 고저항 상태에서 저저항 상태로 변화되는 투명 재질의 물질로 투명 전극을 형성하고, 투명 전극에 전압을 인가하여 포밍 공정을 수행함

기술 개발 효과: ○ 높은 투과도와 오믹 콘택 특성을 나타내는 투명 전극
-가시광 영역뿐만 아니라 단파장의 자외선 영역의 빛에 대해서도 높은 투과도를 나타냄