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[고려대학교] 국부 원자층 선택 박막 증착 장치

최고관리자　 0 Comments　 1 Views　 20-11-10 15:46　 기계

국부 원자층 선택 박막 증착 장치

보유기관 및 연구자 : 고려대학교/심준형

상담신청 기술문의

TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL08
시작품 인증/
표준화
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
  - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가
- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
TRL05
시제품 제작/
성능평가
- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가
- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL03
연구실 규모의
성능 검증
- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립
- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL01
기초 이론/
실험
- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계

기술개요: ○ 국부 원자층 선택 박막 증착 장치에 관한 것으로, 기판의 국소 면적을 레이저를 이용하여 가열함과 동시에 노즐을 이용한 국소면적에서의 원자층 증착이 가능함

[개폐 벨브에 대한 작동 제어 방식]

연구의 필요성: ○ 최근 반도체 공정이 더욱 미세화 되면서 박막의 두께가 얇아져 이들의 정밀한 제어에 관한 기술이 대두됨
-반도체 소자의 유전막, 액정 표시 소자의 투명한 도전체 또는 전자 발광 박막 표시 소자의 보호층 등 다양한 부분에서 CVD 한계 극복을 위해, 원자층 단위의 두께를 가지는 박막을 형성하는 방법으로서 원자층 박막 증착 방법이 제안됨

기술 구현: ○ 국부 원자층 선택 박막 증착 장치 제조 방법
-반응 챔버의 내부 공간에는 다른 구성요소들의 안정적인 배치 상태가 가능함
-가스 공급부의 퍼지 가스 공급부와의 연결을 통해, 반응 챔버 내부의 분위기 형성 및 압력 상태를 조정 가능함

[개폐 밸브에 대한 작동 제어 방식]

시장동향: ○ 세계 반도체 시장 매출은 2019년 총 4,890억 달러로 지난해의 4770억 달러보다 2.6% 증가함
○ 2022년에는 5,390억 달러로 증가할 것으로 예상됨에 따라, 지속적인 성장세가 예상됨

[세계 반도체 시장 규모 및 전망]

특장점

차별성: 반도체 제작 관련 분야에 활용 가능
○ 국부 원자층 선택 박막 증착 장치
-국부 원자층 선택 박막 증착 장치는 레이저 코어를 통한 국소 영역의 선택적 가열이 가능함

기술 개발 효과: ○ 노즐부의 컴팩트한 구성
-레이저 코어, 커먼 공급 섹션 및 석션 섹션을 동축 동심 구조를 취하여 컴비네이션 노즐부의 컴팩트한 구성을 가능하게 할 수 있음