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플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법

최고관리자　 0 Comments　 1 Views　 20-11-10 15:46　 기계

분야 : 기타 개발상태 9

플라즈마를 이용한 구조체 패턴의 형성 방법

보유기관 및 연구자 : 박형호

상담신청 기술문의

TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL08
시작품 인증/
표준화
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
  - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가
- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
TRL05
시제품 제작/
성능평가
- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가
- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL03
연구실 규모의
성능 검증
- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립
- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL01
기초 이론/
실험
- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계

기술개요: 공정중기재와플라즈마반응가스와의반응에의해생성되는반응물이기재상에재증착되어 새로운구조체패턴을획기적으로제공하는플라즈마를이용한구조체패턴의형성방법

시장 및 기술동향: - 세계 저온 플라즈마 시장 규모는 2021년 16억 달러에서 2026년에는 33억 달러에 이를
것으로 예측, 예측기간 중 연평균 복합 성장률(CAGR)은 15.0%를 나타낼 전망
- 예상플라즈마 공기 살균 기술이 미래 방역 핵심 기술로 화제
- 현대 로봇틱스에 의해, 플라즈마 살균 방식의 대면 방역 로봇 사업 확대 中
- 플라즈마 시장 규모는 예측 기간 동안 연평균 16.0 %의 연평균 성장률로 2020 년 1.6
억 달러에서 2025 년까지 3.4 억 달러에 달할 것으로 예상
- 최근 전자소자의 고집적화, 소형화 추세에 따라 나노구조체 및 그 제조방법에 대한
연구가 매우 활발히 진행

기술활용 분야: ✓ 다양한 조성물의 구조체 패턴 - 유전체 구조체 패턴 분야
✓ 나노 분야 - 나노 구조체 성장을 위한 템플릿, 패턴된 Gate Oxide, 층간 절연먹에 활용

나노 구조체 패턴

특장점

생산성극대화: 나노구조체성장을위한템플릿, 패턴된Gate oxide, 층간절연막등에활용
여러단계의증착공정및식각공정등이 불필요 → 생산성극대화