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반도체 디바이스를 검사하기 위한 테스트 콘택터

최고관리자　 0 Comments　 1 Views　 20-11-10 15:46　 기계

분야 : 전자~전기 개발상태 4 9

반도체 디바이스를 검사하기 위한 테스트 콘택터

보유기관 및 연구자 : 한국나노기술원 전동환

상담신청 기술문의

TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL08
시작품 인증/
표준화
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
  - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가
- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
TRL05
시제품 제작/
성능평가
- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가
- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL03
연구실 규모의
성능 검증
- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립
- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL01
기초 이론/
실험
- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계

주요기술구성: ▶ 본 기술은 탄성을 가지면서도 복원력이 뛰어난 테스트 콘택터를 제공함
▶ 반도체 디바이스 검사용 콘택터는 반도체 디바이스와 전기적으로 연결되며, 도전성 겔로 이루어진 도전부를 둘러싸도록 형성하고 절연성 지지부를 포함함

시장동향: ▶ 2016년 세계 반도체 장비 시장 규모는 419.9억 달러로 전년보다 9.5% 증가했으며, 연평균 2.3%씩 증가하여 2021년에는 471.5억 달러에 달할 전망임
▶ 반도체 장비 시장규모는 2016년에 전체 시장의 5.1% 정도인 21.5억 달러로 분석되었으며, 이후 25억 달러 수준의 시장 규모를 유지할 전망임

특장점

기존 기술의 문제점: ▶ 종래 테스트 콘택터에서는 디바이스 단자의 반복적인 접촉에 의해 돌출된 접촉부가 압축되거나 도전성 입자가 이탈되어 오염 또는 단자 접촉 불량이 발생하는 문제가 있음
▶ 테스트 콘택터의 지속적인 사용 시 컨택 영역 내 금속 파티클 형상이 붕괴되어 인접 컨택 영역으로 유출되거나 미세 피치의 경우 테스트시 압력에 의해 배터짐이 발생하여 단락되는 문제 발생함

기존 기술과의 차별성: ▶ 액체와 고체의 특성을 보여 충격을 효과적으로 흡수할 수 있는 재질을 구비한 테스트 콘택터를 제공함으로써 접촉성과 신뢰도를 향상시킬 수 있음
▶ 도전부와 접촉 패드를 모두 도전성 겔로 형성함으로써 제조방식에 통일성을 가하여 제조의 용이성을 꾀할 수 있음
▶ 도전부와 도전성 겔로 형성한 경우에 비해 도전성 겔의 전체 두께를 두껍게 할 수 있어 흡수할 수 있는 충격량이 커짐