전자파 차단 차폐막 형성 장치
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최고관리자 0 Comments 1 Views 20-11-10 15:46 기계본문
- 분야 : 기타 개발상태 4 9
기술완성도
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TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
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TRL08
시작품 인증/
표준화- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
- 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
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TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
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TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
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TRL05
시제품 제작/
성능평가- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
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TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
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TRL03
연구실 규모의
성능 검증- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
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TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
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TRL01
기초 이론/
실험- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
- 시장동향
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전 세계 반도체 제조 장비 시장은 2020년 624억 달러에서 연평균 성장률 9.0%로 증
증착 장비는 2020년 88억 달러에서 연평균 성장률 7.9%로 증가하여, 2025년에는 129억 달러에 이를 것으로 전망됨 (출처: : MarketsandMarkets, Semiconductor Manufacturing Equipment Market, 2020)
TechNavio에 따르면 글로벌 스퍼터링 시장은 2021-2025년간 3억 6,804만 달러 성장하고, 예측기간 중 4%의 CAGR로 성장할 전망함
- 특장점
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- 피증착물을 승강시켜 이송 트레이와 분리하는 승강부재를 포함하는 차폐막 형성 장치
- 증착 공정을 나누어 수행함 → 피증착물의 외주면에 형성되는 타겟 물질(즉, 차폐막)의 두께가 상대적으로 얇을 때 승강부재를 승강시켜 피증착물이 승강되도록 하여 필링 현상을 사전에 방지함
칩의 불량률을 현저하게 낮출 수 있는 효과
- 반도체 전공정 제조 방치
- 스퍼터링 장치