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원자층 증착 장치

최고관리자　 0 Comments　 1 Views　 20-11-10 15:46　 기계

분야 : 기타 개발상태 9

원자층 증착 장치

보유기관 및 연구자 : 이상태

상담신청 기술문의

TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL08
시작품 인증/
표준화
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
  - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가
- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
TRL05
시제품 제작/
성능평가
- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가
- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL03
연구실 규모의
성능 검증
- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립
- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL01
기초 이론/
실험
- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계

기술개요: 화합물 반도체 에피 웨이퍼(Epi-wafer)에서 발생하는 자연 산화막을 인시츄(in-situ) 공정으로 제거하는 원자층 증착 장치

주요 기술내용: • 종래기술의 문제점

에피 웨이퍼에 대한 엑스-시츄(ex-situ) 공정을 진행한 후, 원자층 증착 챔버로
이송되는 동안 에피 웨이퍼는 공기 중에 노출, 자연 산화막이 다시 생성되는 문제

• 본 기술의 해결방안

- 화합물반도체에피웨이퍼(Epi-wafer)에서발생하는자연산화막을인시츄(in-situ) 공정으로제거

시장 및 기술동향: - 세계 박막 반도체 증착 시장 규모는 2020-2027년간 13.5%의 연평균 복합
성장률(CAGR)로 성장할 전망이며, 2027년에는 391억 달러에 달할 것으로 예측됨
- 얇은 두께의 박막 태양전지와 관련하여 LG 디스플레이, AUO 등의 세계 LCD
제조사들이 차세대 신규사업으로 박막 태양전지 사업에 잇따라 진출하고 있음
- 반도체 산업의 소형화로 인해 더 작고, 더 얇고, 더 가볍고, 또 용도에 따라서 휘어지는
부품이나 제품을 만들기 위한 시도가 계속해서 이루어지고 있음.
- 한 광전소자는 다양한 전기, 전자 제품에 적용되고 있으며, 전 기, 전자 제품의 고성능화,
소형화 추세에 따라 고집적, 고효율에 대한 성능 개선 을 위한 연구에 집중되

특장점

계면 및 소자의 성능 향상: 자연 산화막 또는 세정잔류물이 없는 상태로 증착 가능하여박막(1, 2)의 계면 특성이 향상되고, 소자 특성이 향상