자가 치유가 가능한 반도체 소자[SEMICONDUCTOR DEVICES CAPABLE OF SELF-CURING]
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최고관리자 0 Comments 1 Views 20-11-10 15:46 기계본문
- 기술 정보
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기술분야
반도체
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현재 권리자
삼성전자 주식회사
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Main IPC
H01L-027/108
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존속기간 만료예정일
2033-05-23
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출원번호
(출원일)10-2013-0058470
(2013-05-23)
(2013-05-23) -
등록번호
(등록일)10-2054260
(2019-12-04)
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기술분야
- 기술개발 목적
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- 전기적 특성 열화를 자가 치유하여 회복할 수 있는 반도체 소자를 제공함
- 종래 반도체 소자를 치유하기 위하여 베이크 설비와 베이킹 공정이 별도로 필요하므로 제조 비 용이 상승하고 생산성이 떨어지는 문제점을 해소함
- 기술의 효과
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- 소자분리막에 의해 정의된 활성영역들을 갖는 반도체 기판과, 제1 방향을 따라 상기 활성영역 들을 가로질러 연장된 워드라인들과, 그리고 제1 방향과 상이한 제2 방향을 따라 상기 활성영 역들을 가로질러 연장되어 상기 워드라인들과 교차하는 비트라인들을 포함하며, 워드라인들 중 적어도 어느 하나는 양단에 서로 다른 극성의 전압들이 인가되어 셀프 히팅될 수 있음
- 대기 상태에서 셀프 히팅이 가능하게 구성됨으로써 베이크 설비에 의하지 아니하고 자가 치유 할 수 있음
- 반도체 소자의 전기적 특성의 열화를 방지할 수 있고, 수명을 길게 연장시킬 수 있는 효과가 있음
- 적용 산업분야
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*출처 : 삼성전자
반도체
- 시장규모 및 전망
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*출처 : WSTS(2020.12), IC Insights 및 수출입은행
반도체 시장은 2019년 2,269억 달러에서 연평균 7.6% 성장 하여 2025년 3,389억 달러의 규모로 전망됨