경기기술마켓

접합 기판 상에 LED용 반도체층의 형성 방법 및 그에 의해 제조된 반도체 발광 소자

최고관리자　 0 Comments　 1 Views　 20-11-10 15:46　 기계

분야 : 전자~전기 개발상태 4 9

접합 기판 상에 LED용 반도체층의 형성 방법 및 그에 의해 제조된 반도체 발광 소자

보유기관 및 연구자 : 한국나노기술원 신찬수

상담신청 기술문의

TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL08
시작품 인증/
표준화
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
  - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가
- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
TRL05
시제품 제작/
성능평가
- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가
- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL03
연구실 규모의
성능 검증
- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립
- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL01
기초 이론/
실험
- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계

주요기술구성: ▶ 본 기술은 기판 상에 반도체 소자를 형성하기 위한 것으로, 단일 웨어퍼 상에 결정구조가 다른 GaN계와 GaAs계 재료의 연속적인 에피 성장이 가능하도록 설계함
▶ 웨이퍼 상에 연속적인 에피 성장에 의해 접합 기판 상에 LED용 반도체층의 형성하는 공정 특성을 제공함

시장동향: ▶ 2016년 세계 반도체 시장 규모는 419.9억 달러로 전년보다 9.5% 증가했으며, 연평균 2.3%씩 증가하여 2021년에는 471.5억 달러에 달할 전망임
▶ 반도체 장비 시장규모는 2016년에 전체 시장의 5.1% 정도인 21.5억 달러로 분석되었으며, 이후 25억 달러 수준의 시장 규모를 유지할 전망임

특장점

기존 기술의 문제점: ▶ 종래 적색, 녹색, 청색 3색 LED 도트 메트릭스를 구현하기 위해 각 선택된 기판 상에 일일이 특정 색상을 발광하는 에피층을 성장시켜야 하므로 공정이 번거롭고 공정 비용이 증가하는 문제가 있음
▶ 청색, 녹색, 적색 영역에 InGaN을 성장시키고 적색 LED를 위해 청색을 적색으로 변환하는 컨버터를 사용하거나, 녹색 영역에는 녹색 컨버터, 적색 영역에는 적색 컨버터를 사용해야 하므로 하나 이상의 컨버터를 사용하여 높은 픽셀 밀도를 갖는 디바이스에 적합하지 않은 문제 발생함

기존 기술과의 차별성: ▶ 단일 웨이퍼 상에 연속적인 에피 성장이 가능하므로 공정 단계의 획기적인 감소로 공정 비용 및 시간 절감 가능
▶ 소자 간 품질의 차이를 최소화시키면서 고품위의 반도체 발광 소자 제공이 가능함
▶ 연속 공정 상에서 이루어지게 되므로 소자 간 품질의 차이를 최소화시키면서 청색, 녹색, 적색 반도체 발광 소자의 공정 재현성이 우수하고, 고품위의 반도체 발광 소자를 제공할 수 있음